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场景匹配优先:
中低真空(10??~10?? Pa)、单一气体(空气 / 氮气)、连续监测场景(如真空泵配套、真空镀膜机):优先选皮拉尼真空计(性价比 高);
超高真空、多气体混合、高精度需求场景:选电容薄膜真空计(高精度)或组合真空计(皮拉尼 + 电离)。
型号选型技巧:
多气体场景:选支持多气体校准曲线的型号(如 HORIBA PG-300,内置 10 + 种工艺气体曲线);
高精度需求:选恒温模式型号(如 ULVAC GP-200,精度 ±1% FS),避免恒流模式的温度漂移;
恶劣环境:选带防污染灯丝(氮化硅涂层)、高温探头的型号。
使用维护要点:
定期清洁探头(每 3-6 个月)、校准(每 6-12 个月);
安装时远离热源、垂直固定、密封良好;
混合气体场景需提前获取气体成分,进行修正系数设置。
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