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在X射线荧光分析中，物质中所含的每种元素都会产生多种特征X射线，因此需要一种装置使用适当的方法将它们分离并分别测量它们的强度。根据检测 X 射线的方法，有两种类型的设备。它们是波长色散 (WDX) 和能量色散 (EDX)。

1.波长色散装置

这是一种使用分光元件将 X 射线分离成波长并将其引导至探测器的设备。该探测器仅测量目标特征X射线的强度，具有高波长分辨率和优异的测量灵敏度和精度。

然而，测量样品的表面必须光滑，并且分光元件和探测器必须精确旋转，使得设备大型且昂贵。

2、能量分散装置

荧光齿射线直接进入探测器，接收到的信号在设备内部进行电处理以探测特征齿射线。尽管分辨率、灵敏度和准确度不如波长色散类型，但它们需要的分析时间更少，更容易处理，而且更便宜。另外，由于易于小型化，即使表面凹凸也能进行测量，因此有手持式等多种产物在销售。