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由于齿射线荧光光谱仪可以轻松检测金属元素，因此常用于检测产物中的异物以及确定重金属造成的环境污染。此外，由于可以一次分析所有可测量的元素，因此非常适合分析成分未知的物质的组成，并广泛应用于各种研究和调查。

非熟练技术人员也可以使用，并且分析样品的制备很容易或不需要。 X 射线荧光分析具有许多应用，因为它可以非破坏性、快速且轻松地进行化学分析。

关注速度的分析示例如下。

土壤、工业废弃物、回收产物等中含有的有害元素检测

电子材料及元件中的杂质分析

金属材料、岩石、矿石、水泥、玻璃等成分分析

植物中金属、磷、硫等分析

食品和食品容器中的异物或残留添加剂分析

利用无损分析优势的应用如下。

珠宝、艺术品、文化财产、考古发掘、证据等鉴定

机场和海关的行李检查